臺積電異質整合面挑戰 弘塑新款納米雙晶銅可望扮要角 |
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臺積電11月30日指出,異質整合先進封裝面臨兩大挑戰,包括精準度、成本都須跟上前段腳步,外界看好,弘塑向來為臺積電濕制程主力供應商,并正著手研發新款納米雙晶銅添加劑,可望能同時滿足成本、提供銅與銅接合解決方案兩大訴求,該產品也被視為是異質整合中的重點材料。
業界指出,由于現今先進封裝制程仍處于2微米,但隨著芯片線距微縮至納米等級,異質整合過程中,為使晶圓互相堆棧,伴隨高溫制程的步驟勢必會增加,使晶圓結構做出改變,影響后續導孔連結的精準度。
弘塑近年除深耕既有濕制程設備外,也積極拓展化學品事業,旗下添鴻已自行開發出納米雙晶銅添加劑,可在一般電鍍液中添加該液體,強化導線耐熱度、導電度,并增加延展性,提供晶圓銅與銅直接接合的解決方案。
弘塑納米雙晶銅已送樣給臺積電,正進行實驗式生產,現也著手開發新款添加劑,期望進一步降低成本,滿足客戶大量生產的需求。,臺積電異質整合面挑戰 弘塑新款納米雙晶銅可望扮要角 |
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