| 日韓兩地齊增產(chǎn) 住友化學(xué)rF用光刻膠擴產(chǎn)1.5倍[ |
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為應(yīng)對當(dāng)?shù)匦酒瑥S需求，日本大廠住友化學(xué)擬在韓國興建先進(jìn)半導(dǎo)體材料廠房，生產(chǎn)應(yīng)用于最先進(jìn)制程的光刻膠，同時在日本增加新產(chǎn)線，整體最先進(jìn)制程用光刻膠產(chǎn)能有望擴增1.5倍。
據(jù)MoneyDJ報道，住友化學(xué)8月31日宣布，將加強最先進(jìn)制程用光刻膠生產(chǎn)，計劃在日本大阪工廠增設(shè)ArF及EUV用光刻膠產(chǎn)線，預(yù)計在2023年上半年啟用生產(chǎn)。同時，其位于韓國益山市的全資子公司DongwooFine-Chem也將興建浸潤式ArF用光刻膠產(chǎn)房，預(yù)計在2024年上半年啟用生產(chǎn)。
若上述計劃進(jìn)展順利，到2024年，住友化學(xué)整體最先進(jìn)制程用（ArF）光刻膠產(chǎn)能將較2019年提高1.5倍。
據(jù)了解，住友化學(xué)ArF用光刻膠目前僅由日本大阪工廠生產(chǎn)，由于在性能、品質(zhì)上具有優(yōu)勢，全球市占率高，而韓國的DongwooFine-Chem工廠此前為公司i線、KrF用光刻膠生產(chǎn)據(jù)點，擁有20年以上的生產(chǎn)經(jīng)驗。
據(jù)日經(jīng)新聞報道，此次住友化學(xué)決定在韓國興建ArF用光刻膠工廠，是為因應(yīng)當(dāng)?shù)乜蛻粝Ｍ浞稚⑸a(chǎn)，借此穩(wěn)定供貨給韓國芯片廠使用。需要指出的是，此次住友化學(xué)增產(chǎn)的光刻膠產(chǎn)品不在日本對韓國出口管制的清單內(nèi)。 |
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