UV1280SE用途:薄膜測量系統
型號:UV1280SE
出廠日期:2001
系統配置:
目前配置為200mm晶圓尺寸
處理器:H3-NR晶圓處理器,SMIF x1
錢箱搬運:SMIF
機器人:H3PRI晶圓搬運器,雙端效應器
夾頭類型:100/150/200mm
操作員界面:軌跡球和鍵盤標準
電腦配置:
1.CPU:奔騰III 850MHz
2.內存:256MB
設施:
1.真空:20“(510 mm)Hg@1 SCFM
2.空氣:最小80-100 psi
3.排氣口和配件:直徑6“(150mm),柔性軟管,每分鐘拉力260立方英尺.
4.電源:1相220V VAC,50/60 Hz |