AT850C8"-12"已拆卸在潔凈室中,晶圓300mm,無HDD上海價;
SMIF/FOUP
CYMER ELS 7600激光器
AOM激光器
準分子激光器
LMA模塊
底部模塊
MCM(機柜模塊)
網格,6“
左直列
晶圓載物臺
網狀階段
晶圓搬運器
網格處理程序
木炭過濾器
側通道鼓風機
空氣控制柜(ACC)
(2) 覆蓋面板
框架部件：MB、Mcab、RH WH
流程模塊：
成分/類型
PM1/光源
PM2/對齊
PM3/階段
內閣
MDC
LCWC
MCWC
排氣柜
包括備件
不包括硬盤驅動器(HDD)
操作系統：UNIX |
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